真空灭弧室投入使用后，应经常擦拭绝缘外壳，使之清洁干燥，以免降低耐压水平。应定期检查调整真空开关的超程，保持触头间的压力。定期用工频耐压法检查真空灭弧室的真空度，如出现明显的辉光放电或持续放电或耐压水平明显下降，应及时更换真空灭弧室。应定期检查真空灭弧室触头烧损标志的位置，推算触头烧损量，当烧损量达3mm(烧损标记与导向套口齐平)时，表明电寿命已经终了，应更换真空灭弧室。